Mikromechanische Systeme

Unser Bereich der mikromechanischen Systeme bietet Ihnen Produkte auf verschiedenen Verarbeitungsstufen zur Realisierung Ihrer Projekte. Das Spektrum reicht dabei vom Ladungsverstärkerschaltkreis, über den Sensorstapel, bestehend aus MEMS-basiertem Sensorelement und Ladungsverstärkerschaltkreis, zur Integration in eigene Produkte, bis zum komplett vergossenen Sensor. Die dargestellten Gehäuse sind Muster und kundenindividuell anpassbar. Sensorstapel und Sensoren bieten wir Ihnen sowohl in einachsiger-, wie auch in dreiachsiger Ausführung an. Unserer MEMS-basierten Sensoren erfassen den Messbereich von +/-180g im Frequenzbereich bis 8kHz sowie +/-720g bis zu einer Grenzfrequenz von 20kHz parallel, sodass neben auftretenden Betriebsschwingungen auch Crashs von Werkzeugspindeln sicher erkannt werden.